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氣浮主軸的應用及精度要求
日期：2025-09-01 21:08
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摘要：
氣浮主軸(又稱為空氣主軸)指的是用氣體(通常是空氣，但也有可能是其它氣體)作為潤滑劑的滑動軸承。空氣比油粘滯性小，耐高溫，無污染，因而可用于高速機器、儀器及放射性裝置中，但其負荷能力比油低。
也可以應用于：超硬材料加工、半導體工業(yè)和其他高精度加工
具體可應用于：超精反射鏡加工、樹脂光學鏡加工、金剛石單晶刀具研磨、鉆石研磨、硅片切割和打磨、制版工業(yè)鏡面車銑主軸、有機材料鏡面銑削主軸、離子注入機主軸、集成電路和PCB檢測主軸。
也可以應用于：超硬材料加工、半導體工業(yè)和其他高精度加工
具體可應用于：超精反射鏡加工、樹脂光學鏡加工、金剛石單晶刀具研磨、鉆石研磨、硅片切割和打磨、制版工業(yè)鏡面車銑主軸、有機材料鏡面銑削主軸、離子注入機主軸、集成電路和PCB檢測主軸。
由于制造結構的不同，空氣主軸旋轉(zhuǎn)時的**性是天生具備的。特殊的制造技術提高了這一**性，能夠提供極高的旋轉(zhuǎn)和軸向精度?？諝庵鬏S的設計是，能夠在軸向和徑向同時獲得小于0.1微米TIR的旋轉(zhuǎn)**性。由于旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和靜態(tài)支撐部分之間沒有機械接觸，所以沒有磨損產(chǎn)生，從而確保精度始終保持穩(wěn)定--制造商使用統(tǒng)計學加工控制的一個重要特性。
典型的同步徑向偏擺值:<10微米(PCB鉆孔主軸，高速)
典型的非同步徑向偏擺值:<0.025微米(磁盤測試主軸，低速)
D1787**PCB主軸的動態(tài)偏擺與轉(zhuǎn)子速度之間的關系